型号 | HCS600 | HCS800 |
适用尺寸 | 3-6 inch | 3-8 inch |
工作台 | 微孔陶瓷真空平台 | |
清洗水压 | 纯水 0.2-0.4Mpa | |
流量 | 0.4-0.5 L/min | |
吹氮压力 | 0.3-0.4 Mpa | |
压缩空气 | 0.5Mpa洁净干燥压缩空气 | |
外形尺寸 | 420x740x1410mm | 420x740x1410mm |
重量 | 150Kg | 150Kg |
来源: 沈阳汉为科技发布时间:2021-04-01
采用最新二流体清洗方案
适用于蓝膜、UV 膜、PET 衬底和双层膜
旋转轴采用航空业密封技术,性能安全可靠
采用离心式自动抓紧锁扣装置
配备 7 英寸全彩色触摸屏,清洗参数和错误报警信息一目了然
一键式启动执行全自动工作流程
HCS 系列清洗机是专门用于晶圆、QFN、玻璃、基板、手机模组和陶瓷等切割后的清洗设备。此系列为二流体清洗方案,采用可编辑控制器+全彩色触摸屏为操作系统,令设备性能更加稳定、操作便捷。
型号 | HCS600 | HCS800 |
适用尺寸 | 3-6 inch | 3-8 inch |
工作台 | 微孔陶瓷真空平台 | |
清洗水压 | 纯水 0.2-0.4Mpa | |
流量 | 0.4-0.5 L/min | |
吹氮压力 | 0.3-0.4 Mpa | |
压缩空气 | 0.5Mpa洁净干燥压缩空气 | |
外形尺寸 | 420x740x1410mm | 420x740x1410mm |
重量 | 150Kg | 150Kg |