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  • 0302
    2021

    晶圆切割百科

    芯片切割机是非常精密之设备,其主轴转速约在30,000至60,000rpm之间,由于晶粒与晶粒之间距很小(约在2mil,1mil=1/1000英吋)而且晶粒又相当脆弱,因此精度要求相当高(3μm在205mm之行程

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