来源: 国产划片机 发布时间:2022-01-16
国产划片机纳米科学技术特点中的半导体封测设备业务包括划片机、切割周边设备、切割耗材、核心零部件空气主轴等产品,主要应用于半导体封测环节的切割研磨工序;安全生产监控装备业务包括矿山安全生产监控类、电力安全节能环保类和专用配套设备等三大类产品,主要应用于煤矿、电力等工业生产领域。
晶圆切割主要分为刀片切割和激光切割两大工艺,分别对应砂轮划片机和激光划片机两类划片设备。刀片切割包括一次切割和分步连续切割的方式,效率高,成本低,寿命长,是使用最广泛的切割工艺,尤其在较厚晶圆(>100 微米)具备优势。
激光切割工艺切割精度高、切割速度快,但是主要适用于较薄晶圆(<100 微米)的切割,在切割较厚晶圆时存在高温损坏晶圆的问题,仍需要刀片切割进行二次切割配合,同时激光头价格较为昂贵,寿命较短。
国产厂商在高端精密切割划片领域与国外厂商仍有较大差距,同时品牌知名度尚缺,缺乏市场竞争能力,在全球市场中所占份额极低。
划片机目前主要分为两种方式,分别是砂轮划片机和激光划片机,但由于激光切割不能使用大功率以免产生热影响区,破坏芯片以及造价高昂(一般在100 万美元/台以上),工序上需要二次切割,因此形成砂轮划片机占据80%的市场份额,激光划片机作为划片机补充,占据20%。
最大工作物尺寸 | mm | ø 6"或160mm×160mm方形 | |
X轴 | 工作台左右行程 | mm | 240 |
进刀速度输入范围 | mm/s | 0.1 - 400 | |
Y轴 | 可切削范围 | mm | 165 |
单步步进量 | mm | 0.0001 | |
定位精度 | mm | 0.005以内/165 0.003以内/5 (单一误差) | |
Z轴 | 有效行程 | mm | 30 |
重复精度 | mm | 0.001 | |
可使用的最大切割刀片直径 | mm | Ø 58 | |
θ轴 | 最大旋转角度 | deg | 320 |
转角分辨率 | ″ | 0.0002° | |
主轴 | 额定输出功率 | kW | 1.5(1.8、2.4可选) at 50,000 min-1 |
额定扭矩 | N・m | 0.27 | |
旋转数范围 | min-1 | 3,000 - 50,000 (60,000*) | |
可使用的最大框架 | 6寸 | ||
基础规格 | 电源 | V | 单相AC220V ±10%上述以外需配置变压器 |
耗电量 | kw | 加工时 kW 0.5(参考值) 暖机时 kW 0.3(参考值) | |
最大耗电量 | kVA | 3.2 | |
压缩空气供给压力 | Mpa | 0.5 - 0.8 | |
压缩空气最大消耗量 | L/min(ANR) | 185 | |
切削水压力 | Mpa | 0.2 - 0.4 | |
最大消耗量 | L/min | 4.0 | |
冷却水压力 | Mpa | 0.2 - 0.4 | |
最大消耗量 | L/min | 1.5(在0.3MPa时) | |
排风量 | m³/min | 1.5 | |
设备尺寸(W × D × H) | mm | 680 × 900 × 1660 | |
设备重量 | kg | 约500 |
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